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반도체 제조장비 내부 오염 입자 줄이는 '내플라즈마성 소재' 국산화 2023.03.22 재료연,'내플라즈마성 세라믹 나노복합체 신조성 및 공정 기술' 국내 최초 개발 한국재료연구원(이하 재료연) 엔지니어링세라믹연구실 마호진, 박영조 박사 연구팀이 반도체 제조 장비 내부 오염 입자를 줄이는 '내플라즈마성 세라믹 나노복합체 신조성 및 공정' 기술을 개발, 반

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