주요 메뉴 바로가기 (상단) 본문 컨텐츠 바로가기 주요 메뉴 바로가기 (하단)

[단독] 한화, 삼성전자에 반도체 D램 전공정 장비 공급 가시화

서울경제 조회수  

[단독] 한화, 삼성전자에 반도체 D램 전공정 장비 공급 가시화
한화정밀기계의 ALD 장비. 사진제공=한화

한화가 D램용 전공정 장비 분야에서 삼성전자와 국산화 작업을 긴밀하게 진행하고 있는 것으로 확인됐다. 세계 1위 D램 회사에 전공정 설비를 납품하면서 최첨단 반도체 장비 회사로서의 입지를 다질 수 있을지 주목된다.

13일 업계에 따르면 한화그룹의 반도체 장비 계열사 한화정밀기계는 1월 삼성전자에 원자층증착(ALD), 플라즈마강화화학기상증착(PECVD) 평가 장비를 처음으로 출하했다. 이 장비는 삼성전자 반도체연구소의 최첨단 D램 연구개발(R&D) 라인에 배치된다. 회사와 삼성전자 간 전공정 장비 협력이 공개된 적은 처음이고, 한화정밀기계의 전공정 장비가 유력 칩 메이커 라인에 들어간 사실이 확인된 것 역시 처음이다.

이 장비가 당장 경기 평택·화성시 등에 위치한 삼성 D램 양산 라인에 배치되는 것은 아니다. 그러나 삼성 반도체연구소에 납품됐다는 건 초기 퀄(승인) 테스트를 통과가 상당 부분 완료됐고, 양산 라인에 적용되기 위한 최종 평가까지 도달했음을 뜻한다. 통상 이 평가는 2~3년 정도 소요되는 것으로 알려졌다.

한화가 삼성에 납품한 ALD와 PECVD 장비는 반도체 제조 과정 중 ‘증착’ 공정에 활용되는 제품이다. 반도체 공정은 동그란 웨이퍼 위에 얇은 막을 쌓고, 빛으로 회로를 새긴 뒤 불필요한 부분을 깎아내는 작업을 반복한다. 증착은 이 공정들 중 얇은 막을 쌓는 작업이다. 특히 ALD는 첨단 증착 기술로 손꼽힌다. 원자 단위의 알갱이들로 더 얇고 단단한 막을 형성할 수 있어 초미세 D램을 만들 때 필수 기술로 통하지만 기술 구현이 쉽지 않다.

삼성과 한화정밀기계의 협력은 해외 장비 기업이 장악하고 있는 전(前)공정 분야에서 토종 기업이 기술적 진전을 이뤄내고 있다는 점에서 상당한 의미가 있다. 고난도 증착 분야의 경우 주성엔지니어링 등 국내 장비 회사들도 분전하고 있지만 미국 어플라이드 머티어리얼즈, 네덜란드 ASM 등이 수십 년 간 쌓은 장비 제조 노하우로 득세를 하고 있는 상황이다. 한화의 전공정 장비 국산화로 국내 소재·부품·장비 인프라가 한 단계 더 도약할 수 있는 기회가 마련될 것으로 기대된다.

한화정밀기계 입장에서 보면 삼성전자와의 협력이 회사의 판로 개척에도 큰 도움이 될 수 있다. 삼성전자는 세계 D램 시장에서 40% 이상의 압도적인 점유율과 생산 능력을 보유한 회사다. 기술 난도가 상대적으로 낮은 후공정 장비를 주력으로 하던 한화정밀기계가 ‘퀀텀 점프’할 수 있는 기회를 잡은 것이다.

향후 한화정밀기계가 또다른 반도체 ‘빅테크’와의 협력에 도전할 수 있는 좋은 사례가 될 수 있다. 업계 관계자는 “잠재 고객사들의 반도체 양산 기술이 삼성전자 공정과 차이가 있는 것은 당연하다”면서도 “원천 기술과 제조 능력이 확보된 만큼 다양한 맞춤형 제품 생산이 가능할 것”이라고 평가했다.

한편 한화정밀기계는 ALD·PECVD 분야 외에도 인공지능(AI) 반도체에서 각광받는 고대역폭메모리(HBM) 하이브리드 본더 개발에 나서는 등 최첨단 반도체 장비 제품군을 늘려가고 있다.

서울경제
content@www.newsbell.co.kr

댓글0

300

댓글0

[경제] 랭킹 뉴스

  • 올림픽 맛있게 응원하자…집관족 취향저격 ‘올림픽 에디션’
  • 질병청 '성인 패혈증 초기치료지침' 첫 발간
  • 서울 아파트 낙찰가율 93.7%...1년 11개월 만에 최고점 찍었다
  • 불량 자재 탓에 에어컨 없이 폭염 견디는 송도 '송일국 아파트'
  • 불량 자재 탓에 에어컨 없이 폭염 견디는 송도 '송일국 아파트'
  • 8월 극장가 '재개봉 러시'…인생영화 다시 스크린으로

[경제] 공감 뉴스

  • 케이뱅크, MY체크카드 90만장 넘었다..."인뱅 유일 K 패스 기능 탑재"
  • 삼정KPMG “디지털 헬스케어 활성화에 슬립테크 부상”
  • "‘용인 스마일 보이’ 우상혁이 웃었다"...이상일 용인특례시장, 높이뛰기 우상혁 선수 '응원'하고 '격려'
  • ‘나는 솔로’ 21기 최종 선택 대반전…순자, 영철 직진에도 선택 포기
  • 삼성자산운용, 공식 유튜브 채널 정보 시리즈 인기몰이
  • NH농협은행, 농촌 학생들과 '초록사다리 여름캠프' 개최

당신을 위한 인기글

  • 진한 육향이 국물에 스며들어 있는 돼지찌개 맛집 BEST5
  • 사계절 내내 관광객이 붐비는 여행지, 강릉 맛집 BEST5
  • ‘여기’에 먹으면 더 맛있는, 뚝배기 맛집 BEST5
  • 쫄깃쫄깃, 탱글탱글! 입안에서 춤추는 주꾸미 맛집 BEST5
  • [오늘 뭘 볼까] 임윤찬의 공연을 스크린에서..영화 ‘크레센도 반 클라이번 콩쿠르 실황’
  • [맥스무비레터 #77번째 편지] 투둠! ‘오징어 게임’ 시즌2 시청 길라잡이🦑
  • [위클리 포토] 송승헌은 왜 조여정에게 사과했을까?
  • [리뷰: 포테이토 지수 83%] ‘아침바다 갈매기는’, 떠나간 자와 남겨진 자
//php echo do_shortcode('[yarpp]'); ?>

함께 보면 좋은 뉴스

  • 1
    “연예인 데뷔 안 하나?” … 세계 미남 대회에서 최초로 1위 한 한국 남성

    연예 

  • 2
    유명 남자 아이돌 멤버, 사생팬에게 폭행 당해 병원행… '충격사건' 터졌다

    뉴스 

  • 3
    "K방산 세계 무기산업 이정표 되도록 노력"

    뉴스 

  • 4
    [지스타/그리프라인] ‘명일방주: 엔드필드’ 부스 '북적북적' 인기 폭발

    차·테크 

  • 5
    [지스타2024] ‘붉은사막’, 용병이 돼보자

    뉴스 

[경제] 인기 뉴스

  • 올림픽 맛있게 응원하자…집관족 취향저격 ‘올림픽 에디션’
  • 질병청 '성인 패혈증 초기치료지침' 첫 발간
  • 서울 아파트 낙찰가율 93.7%...1년 11개월 만에 최고점 찍었다
  • 불량 자재 탓에 에어컨 없이 폭염 견디는 송도 '송일국 아파트'
  • 불량 자재 탓에 에어컨 없이 폭염 견디는 송도 '송일국 아파트'
  • 8월 극장가 '재개봉 러시'…인생영화 다시 스크린으로

지금 뜨는 뉴스

  • 1
    "아내가 죽었다" 오열하며 퇴사한 직원 다음 날 확인해 보니… (역대급 황당 전말)

    뉴스&nbsp

  • 2
    [지스타 2024] 게임업계 ‘신입생’ 하이브IM “신작 ‘아키텍트’, 이용자 소통으로 완성”

    차·테크&nbsp

  • 3
    하나금융 함영주 회장, "글로벌 시장 눈높이 맞는 주주환원 이행할 것”

    뉴스&nbsp

  • 4
    "라이징 브랜드 한눈에"… 선물도 팡팡! 쿠팡 메가뷰티쇼

    뉴스&nbsp

  • 5
    ASML(ASML.AS), 2030년 전망 낙관…'AI 기반 수요 증가 배팅'

    뉴스&nbsp

[경제] 추천 뉴스

  • 케이뱅크, MY체크카드 90만장 넘었다..."인뱅 유일 K 패스 기능 탑재"
  • 삼정KPMG “디지털 헬스케어 활성화에 슬립테크 부상”
  • "‘용인 스마일 보이’ 우상혁이 웃었다"...이상일 용인특례시장, 높이뛰기 우상혁 선수 '응원'하고 '격려'
  • ‘나는 솔로’ 21기 최종 선택 대반전…순자, 영철 직진에도 선택 포기
  • 삼성자산운용, 공식 유튜브 채널 정보 시리즈 인기몰이
  • NH농협은행, 농촌 학생들과 '초록사다리 여름캠프' 개최

당신을 위한 인기글

  • 진한 육향이 국물에 스며들어 있는 돼지찌개 맛집 BEST5
  • 사계절 내내 관광객이 붐비는 여행지, 강릉 맛집 BEST5
  • ‘여기’에 먹으면 더 맛있는, 뚝배기 맛집 BEST5
  • 쫄깃쫄깃, 탱글탱글! 입안에서 춤추는 주꾸미 맛집 BEST5
  • [오늘 뭘 볼까] 임윤찬의 공연을 스크린에서..영화 ‘크레센도 반 클라이번 콩쿠르 실황’
  • [맥스무비레터 #77번째 편지] 투둠! ‘오징어 게임’ 시즌2 시청 길라잡이🦑
  • [위클리 포토] 송승헌은 왜 조여정에게 사과했을까?
  • [리뷰: 포테이토 지수 83%] ‘아침바다 갈매기는’, 떠나간 자와 남겨진 자

추천 뉴스

  • 1
    “연예인 데뷔 안 하나?” … 세계 미남 대회에서 최초로 1위 한 한국 남성

    연예 

  • 2
    유명 남자 아이돌 멤버, 사생팬에게 폭행 당해 병원행… '충격사건' 터졌다

    뉴스 

  • 3
    "K방산 세계 무기산업 이정표 되도록 노력"

    뉴스 

  • 4
    [지스타/그리프라인] ‘명일방주: 엔드필드’ 부스 '북적북적' 인기 폭발

    차·테크 

  • 5
    [지스타2024] ‘붉은사막’, 용병이 돼보자

    뉴스 

지금 뜨는 뉴스

  • 1
    "아내가 죽었다" 오열하며 퇴사한 직원 다음 날 확인해 보니… (역대급 황당 전말)

    뉴스 

  • 2
    [지스타 2024] 게임업계 ‘신입생’ 하이브IM “신작 ‘아키텍트’, 이용자 소통으로 완성”

    차·테크 

  • 3
    하나금융 함영주 회장, "글로벌 시장 눈높이 맞는 주주환원 이행할 것”

    뉴스 

  • 4
    "라이징 브랜드 한눈에"… 선물도 팡팡! 쿠팡 메가뷰티쇼

    뉴스 

  • 5
    ASML(ASML.AS), 2030년 전망 낙관…'AI 기반 수요 증가 배팅'

    뉴스