“1989년 한국에 처음 진출해 아시아 최초로 최첨단 반도체 공정 연구개발(R&D) 센터를 설립했습니다. 용인 반도체 메가 클러스터에 첫 발을 내디딘 글로벌 반도체 장비 기업이 된 것이 자랑스럽습니다.”
팀 아처 램리서치 회장 및 최고경영자(CEO)는 8일 경기 용인시 기흥구에서 진행된 램리서치 용인캠퍼스 오프닝 행사에서 이렇게 말했다. 이날 행사에는 팀 아처 회장을 비롯해 바히드 바헤디 램리서치 최고기술책임자(CTO), 박준홍 램리서치코리아 대표 등이 참여했다.
램리서치는 미국 어플라이드 머티어리얼즈, 네덜란드 ASML과 함께 세계 3대 반도체 장비 기업으로 꼽힌다. 지난해 램리서치의 연간 매출액은 143억달러(약 19조원)로, 시장조사업체 가트너에 따르면 램리서치는 반도체 장비 시장 점유율 3위를 차지했다.
램리서치는 용인 등 경기 남부 일대에 조성하는 반도체 메가 클러스터에 입주한 첫번째 글로벌 기업이다. 현재 연구개발(R&D)부터 물류, 고객 서비스 및 제조 시설 전체를 용인과 오산, 화성, 평택 등에서 운영하고 있다.
이번에 개관한 용인캠퍼스는 램리서치의 글로벌 R&D 거점이 될 전망이다. 용인캠퍼스는 축구장 4개 크기인 3만㎡(약 9000평) 규모로 램리서치의 아시아 최대 R&D 센터인 코리아테크놀로지센터가 들어서 있다. 박상욱 램리서치 전무는 “삼성전자와 SK하이닉스뿐만 아니라 글로벌 고객사의 반도체를 양산하는 제조 라인과 동등한 규모의 클린룸을 보유하고 있다”며 “300㎜ 웨이퍼를 고객사 생산 시설과 동일한 수준으로 제조할 수 있는 첨단 장비들이 24시간 가동되고 있는, 미국 지역 외에 있는 가장 큰 R&D 센터”라고 설명했다.
램리서치는 용인캠퍼스를 통해 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 기업과의 협업을 강화할 방침이다. 램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스에 웨이퍼에서 불필요한 부분을 선택적으로 제거하는 식각 장비 등을 공급하고 있다. 한국은 램리서치 연간 매출액의 19%를 차지하는 시장으로, 중국(42%)에 이어 두 번째로 큰 규모다.
이날 축사를 전한 이종명 삼성전자 반도체연구소 공정개발실장(부사장)은 “램리서치 용인캠퍼스는 반도체 산업의 기술 발전과 인력 양성에 중요한 거점이 될 것”이라며 “삼성전자도 램리서치의 여정에 함께하겠다”고 했다. 차선용 SK하이닉스 미래기술연구원장(부사장)은 “램리서치와 SK하이닉스는 오랫동안 기술 성숙도 향상과 원가 경쟁력 강화, 사업 성공이라는 목표 아래 긴밀하게 협력해 왔다”며 “용인캠퍼스는 연구개발을 촉진하고 산업 생태계를 강화하는 역할을 하게 될 것”이라고 했다.
램리서치는 이날 행사에서 성균관대, 한국반도체산업협회와 ‘K-반도체 인재 양성을 위한 산학정 협력 프로그램에 대한 양해각서 체결식’을 진행했다. 내년부터 1년 간 시범 사업을 진행하고, 이후 확대 시행을 통해 학사 및 석·박사급 반도체 인력을 양성할 계획이다.
램리서치는 이번 프로그램에 램리서치가 개발한 ‘세미버스 솔루션’을 도입하겠다고 설명했다. 세미버스 솔루션은 최신 생산 시설을 구현한 디지털 트윈이다. 학생들은 3차원(D) 소프트웨어를 통해 가상의 생산 시설에 접속해 반도체 디자인 및 제조 공정 전반을 경험해 볼 수 있다.
최재붕 성균관대 부총장은 “이번 프로그램으로 그동안 부족했던 반도체 설계 현장의 실습 경험을 제공해 실무 환경에 최적화된 인재 양성에 도움이 될 것”이라고 했다.
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