주요 메뉴 바로가기 (상단) 본문 컨텐츠 바로가기 주요 메뉴 바로가기 (하단)

[르포]SK실트론 초순수 실증플랜트…“설계·운영 100% 자립, 日 독점 깬다”

전자신문 조회수  

구미 SK실트론 2공장 초순수 실증플랜트 전경

#반도체 생산을 위한 핵심 소재인 ‘초순수'(고순도 공업용수)는 일본이 전 세계시장을 사실상 독점하고 있다. 일본 정부는 2019년 반도체 소재에 대한 수출규제에 이어 한국을 화이트 리스트(백색 국가)에서 제외하면서, 국내 반도체 제조사들은 외산 특히 일본에 대한 의존도가 높은 초순수 확보에 비상이 걸렸다. 정부는 민관 원팀을 구성해 한국 경제의 핵심으로 꼽히는 반도체 산업이 글로벌 패권 경쟁에서 우위를 확보할 수 있도록 초순수 기술 자립화에 나섰다. 환경부 기자단과 ‘초순수 실증플랜트’ 시운전 현장을 직접 찾아 국산화 연구개발(R&D) 사업 추진현황을 둘러봤다.

29일 정부세종청사에서 구미행 버스에 탑승해 두 시간 남짓 내달려 반도체 소재부품 특화단지인 ‘구미국가산업단지’에 도착했다. 환경부는 SK실트론 본사가 있는 구미산단에서 초순수 생산 국산화 R&D 사업을 추진 중이다. 2021년 11월 SK실트론 2공장 내 초순수 실증플랜트를 착공했고, 내년 12월까지 약 5년 간 예산 325억원(민간 포함 시 443억원)을 투입해 초순수 설계·운영 기술은 100%, 시공 기술·핵심 기자재는 70% 국산화한다.

환경부 기자단이 29일 구미 SK실트론 2공장 초순수 실증플랜트 시운전 현장을 둘러보고 있다.

‘초순수’는 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 세척 등 반도체 제작 공정 전반에 사용되며, 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고난도 수처리 기술로 꼽힌다. 150㎜ 웨이퍼 1장 세척에 통상 초순수 0.8~1톤이 투입된다. 민관 컨소시엄은 세계 3위(12인치 기준) 반도체 웨이퍼 제조기업인 SK실트론 부지에 국산 실증플랜트를 구축, 국산 초순수 공급을 처음 시도한다. 한국수자원공사가 초순수 실증플랜트 운영을 총괄하고, 플랜트 설계·시공은 한성크린텍, 배관 설계·시공는 진성이엔씨가 각각 맡았다. SK에코플랜트는 사이버 교육 프로그램을 진행하고, SK실트론은 직접 사용·검증을 하고 시산표(T/B)를 제공한다.

SK실트론 내 실증플랜트는 하루 2400톤 초순수 생산을 목표로 외산장비를 활용하는 1단계와 국산장비를 사용하는 2단계로 구분된다. 1단계 시설은 수질검증을 거쳐 작년 5월부터 SK실트론에 1200톤규모 초순수를 공급, 웨이퍼 생산에 사용되고 있다. 2단계 시설은 작년 12월 구축을 마쳤고, 최근 시운전을 마쳐 1200톤을 추가 생산할 수 있는 상황이다. 올 하반기 자외선산화, 탈기막, 이온교환수지 등 국산화 설비 3종에 대한 연속 가동 성능평가를 진행한다. 수질분석 완료 후 SK실트론과 실공급 일정 협의를 거쳐 하반기 내 국산장비로 초순수를 생산해 웨이퍼 양산에 사용할 예정이다.

초순수 설계·운영 기술 100% 국산화가 소재·부품·장비 국산화율을 끌어올리고, 장기적으로 국제무대에서 일본과 경쟁구도를 형성할 수 있을 것으로 전망된다.

정효중 한성크린텍 이사는 “그동안 쿠리타, 노무라 등 일본기업이 초순수 플랜트 설계시장을 독점하면서 일본 소재·부품·장비(에 유리한 스펙)를 적용해 초순수 생태계 자체가 특정 국가에 의존됐다”면서 “(SK실트론 초순수 실증플랜트를 계기로) 확실히 설계·시공 검증이 됐고 역량이 갖춰졌다고 생각한다. 향후 일본 기업과도 충분히 경쟁할 수 있을 것”이라고 말했다.

환경부 기자단이 29일 구미 SK실트론 2공장 초순수 실증플랜트 모니터링 시설을 둘러보고 있다.

이준희 기자 jhlee@etnews.com

전자신문
content@www.newsbell.co.kr

댓글0

300

댓글0

[차·테크] 랭킹 뉴스

  • “사람 대신 정보 자동 취합하고 지시 실행”… 똑똑한 디지털 비서 ‘AI 에이전트’ 시대 열린다
  • 시속 120km/h 이상 달리면 엔진 보증 수리가 안된다고? 집단소송 걸린 도요타 GR86 박서엔진
  • 블리자드, ‘워크래프트' 30주년 맞아 2025년 주요 계획 공개
  • 미니, 더욱 다양해진 존 쿠퍼 웍스로 돌아와
  • 애플, '비전프로' 온·오프라인 구매 경험 통일…“韓 고객에 최상 사용 경험 제공”
  • [지스타2024·포토] 개장 1시간 만에 100분 이상 대기...기대작 ‘오픈런’

[차·테크] 공감 뉴스

  • 애플, '비전프로' 온·오프라인 구매 경험 통일…“韓 고객에 최상 사용 경험 제공”
  • 아이오닉9·EV9 GT, 美 뉴스위크 선정 기대되는 신차 선정 
  • 벤츠·BMW에 밀리더니 “제대로 준비했다”… 절치부심한 아우디의 신형 전기차
  • [지스타/하이브IM] [핸즈온] 캐릭터에 반했다...차세대 MMORP '아키텍트'
  • [지스타 2024] BBQ 개발 중단 이유...윤명진 대표의 '라이브 게임 서비스하듯이 신작 만들기'
  • 갤럭시S25 슬림 vs 아이폰17 에어, 25년은 다이어트 두께 전쟁?

당신을 위한 인기글

  • 일본까지 가지 않아도 맛볼 수 있는 보물같은 야키토리 맛집 BEST5
  • 달콤한 양념과 부드러운 고기의 조화, 소불고기 맛집 BEST5
  • 진득한 국물에 닭 특유의 감칠맛이 전해지는 닭칼국수 맛집 BEST5
  • 부드러운 육질, 고소한 풍미가 매력적인 양고기 맛집 BEST5
  • ‘종영 눈앞’ 이친자·정년이·정숙한 세일즈..그 결말은?
  • 송재림 유작으로 남은 ‘폭락: 사업 망한 남자’
  • ‘개를 훔치는 완벽한 방법’ 김성호 감독. 발달장애 아동 SF영화 공개
  • 강동원·이민기·김남길·차은우..’사제복’의 매력으로

함께 보면 좋은 뉴스

  • 1
    "고양이 도망가는데 쫓아가 삽으로…" 구조 요청했더니 '죽인' 구청 용역업체

    뉴스 

  • 2
    파란 하늘 반사된 유리창에…새들이 뛰어들어 죽었다

    뉴스 

  • 3
    부정적 사고로 점철된 현대인들에게 가장 필요한 건 뭘까: 소통 전문가가 답을 내놨다

    연예 

  • 4
    "오랜만에 둘이" 정성호♥경맑음, 여섯째 생기나…괌 여행서 '뜨거운 금실 과시'

    연예 

  • 5
    “완결 8년 만에”… 최고 시청률 15% 찍은 한국 드라마, 못다한 이야기 시작된다

    연예 

[차·테크] 인기 뉴스

  • “사람 대신 정보 자동 취합하고 지시 실행”… 똑똑한 디지털 비서 ‘AI 에이전트’ 시대 열린다
  • 시속 120km/h 이상 달리면 엔진 보증 수리가 안된다고? 집단소송 걸린 도요타 GR86 박서엔진
  • 블리자드, ‘워크래프트' 30주년 맞아 2025년 주요 계획 공개
  • 미니, 더욱 다양해진 존 쿠퍼 웍스로 돌아와
  • 애플, '비전프로' 온·오프라인 구매 경험 통일…“韓 고객에 최상 사용 경험 제공”
  • [지스타2024·포토] 개장 1시간 만에 100분 이상 대기...기대작 ‘오픈런’

지금 뜨는 뉴스

  • 1
    아이브가 당신의 수능을 응원합니다…"꼭 실력 발휘하고 오시길"

    연예 

  • 2
    “씁쓸한 뉴스…” 어린이 합창단 하모니에 눈물 흘린 유재석 : 너무나 공감 포인트다

    연예 

  • 3
    '5살 아이 사망' 태권도 관장이 삭제한 CCTV를 복원하니 충격적인 장면이 드러났다

    뉴스 

  • 4
    민주당 '탄핵 몽니'에 '정치적 해법' 준비하는 국민의힘

    뉴스 

  • 5
    2025학년도 수능 준비물, 도시락·반입금지 물품은?

    뉴스 

[차·테크] 추천 뉴스

  • 애플, '비전프로' 온·오프라인 구매 경험 통일…“韓 고객에 최상 사용 경험 제공”
  • 아이오닉9·EV9 GT, 美 뉴스위크 선정 기대되는 신차 선정 
  • 벤츠·BMW에 밀리더니 “제대로 준비했다”… 절치부심한 아우디의 신형 전기차
  • [지스타/하이브IM] [핸즈온] 캐릭터에 반했다...차세대 MMORP '아키텍트'
  • [지스타 2024] BBQ 개발 중단 이유...윤명진 대표의 '라이브 게임 서비스하듯이 신작 만들기'
  • 갤럭시S25 슬림 vs 아이폰17 에어, 25년은 다이어트 두께 전쟁?

당신을 위한 인기글

  • 일본까지 가지 않아도 맛볼 수 있는 보물같은 야키토리 맛집 BEST5
  • 달콤한 양념과 부드러운 고기의 조화, 소불고기 맛집 BEST5
  • 진득한 국물에 닭 특유의 감칠맛이 전해지는 닭칼국수 맛집 BEST5
  • 부드러운 육질, 고소한 풍미가 매력적인 양고기 맛집 BEST5
  • ‘종영 눈앞’ 이친자·정년이·정숙한 세일즈..그 결말은?
  • 송재림 유작으로 남은 ‘폭락: 사업 망한 남자’
  • ‘개를 훔치는 완벽한 방법’ 김성호 감독. 발달장애 아동 SF영화 공개
  • 강동원·이민기·김남길·차은우..’사제복’의 매력으로

추천 뉴스

  • 1
    "고양이 도망가는데 쫓아가 삽으로…" 구조 요청했더니 '죽인' 구청 용역업체

    뉴스 

  • 2
    파란 하늘 반사된 유리창에…새들이 뛰어들어 죽었다

    뉴스 

  • 3
    부정적 사고로 점철된 현대인들에게 가장 필요한 건 뭘까: 소통 전문가가 답을 내놨다

    연예 

  • 4
    "오랜만에 둘이" 정성호♥경맑음, 여섯째 생기나…괌 여행서 '뜨거운 금실 과시'

    연예 

  • 5
    “완결 8년 만에”… 최고 시청률 15% 찍은 한국 드라마, 못다한 이야기 시작된다

    연예 

지금 뜨는 뉴스

  • 1
    아이브가 당신의 수능을 응원합니다…"꼭 실력 발휘하고 오시길"

    연예 

  • 2
    “씁쓸한 뉴스…” 어린이 합창단 하모니에 눈물 흘린 유재석 : 너무나 공감 포인트다

    연예 

  • 3
    '5살 아이 사망' 태권도 관장이 삭제한 CCTV를 복원하니 충격적인 장면이 드러났다

    뉴스 

  • 4
    민주당 '탄핵 몽니'에 '정치적 해법' 준비하는 국민의힘

    뉴스 

  • 5
    2025학년도 수능 준비물, 도시락·반입금지 물품은?

    뉴스 

공유하기