반도체 장비 세계 1위 ASML, 화성에 차세대 EUV 활용한 연구개발 시설 세운다

반도체 장비 분야 세계 1위인 네덜란드 ASML이 차세대 극자외선(EVU) 노광장비인 ‘하이 NA EUV’를 활용한 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 지원 연구개발 시설을 경기 화성시에 건립한다.

정명근 화성시장은 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장과 4일 화성시청에서 간담회를 갖고 연구시설 건립에 필요한 행정 지원에 최선을 다하겠다는 입장을 밝혔다.

ASML은 반도체 생산에 필요한 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. 현재 화성 동탄2신도시에 반도체 장비 부품 제조센터와 엔지니어 트레이닝 센터 등을 조성하는 사업을 추진하고 있다.

간담회에서 정 시장은 “1조원이 투입되는 ‘ASML-삼성전자 연구지원시설’ 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사드린다”면서 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착 지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다. 앞서 ASML은 지난달 28일 ‘ASML-삼성전자 연구지원시설’ 건립을 위해 한국토지주택공사와 부지 매입 계약을 체결했다.

이에 프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로 ‘ASML 화성 뉴 캠퍼스’ 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사드린다”면서 “삼성전자는 ASML의 중요 고객사인 만큼 이번 연구지원시설 건립을 통해 양사 간의 기술 동맹을 돈독히 하겠다”고 답했다.

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